氫氣（H₂)純度（體積分?jǐn)?shù)）/10^-2 ≥

99.999

氧(O₂)含量（體積分?jǐn)?shù)）/10^-6 ≤

1

氬(Ar)含量（體積分?jǐn)?shù)）/10^-6 ≤

供需商定

氮(N?)含量（體積分?jǐn)?shù)）/10^-6 ≤

5

一氧化碳(CO)含量（體積分?jǐn)?shù)）/10^-6 ≤

1

二氧化碳(CO₂)含量（體積分?jǐn)?shù)）/10^-6 ≤

1

甲烷(CH₄)含量（體積分?jǐn)?shù)）/10^-6 ≤

1

水分(H₂O)含量（體積分?jǐn)?shù)）/10^-6 ≤

3

雜質(zhì)總含量（體積分?jǐn)?shù)）/10^-6 ≤

10

注：由供需雙方商定氬含量是否列人純度計(jì)算。